灰化設(shè)備的應(yīng)用
?灰化設(shè)備用于半導(dǎo)體制造過程中剝離離子注入物、去除抗蝕劑等聚合物以及在制造 CCD 時(shí)去除彩色濾光片。
灰化方法有兩種：等離子灰化（利用等離子體）和臭氧灰化（利用臭氧與碳?xì)浠衔锇l(fā)生反應(yīng)）。更常見的方法是等離子灰化，它通過向等離子體中加入氧氣來提高反應(yīng)性，從而增強(qiáng)灰化效果。
產(chǎn)品信息
- 產(chǎn)品信息
- 新聞資訊
- 資料中心
熱門搜索：HN-400氦氖激光
