什么是灰化裝置
?灰化設(shè)備是去除半導(dǎo)體制造等中使用的抗蝕劑的裝置。灰化是變成灰燼的意思,顧名思義,它是利用等離子或臭氧將抗蝕劑變成灰燼并將其去除。
在半導(dǎo)體制造中,光刻膠是一種保護(hù)膜,涂在硅片表面,然后在特定區(qū)域進(jìn)行曝光,以形成微結(jié)構(gòu)。完成后,光刻膠會(huì)被去除。
在半導(dǎo)體制造中,灰化設(shè)備用于處理硅片,因此它是一種能夠運(yùn)輸硅片的大型設(shè)備。
?灰化設(shè)備是去除半導(dǎo)體制造等中使用的抗蝕劑的裝置。灰化是變成灰燼的意思,顧名思義,它是利用等離子或臭氧將抗蝕劑變成灰燼并將其去除。