灰化裝置原理
?等離子體是一種電離氣體，反應(yīng)性極強(qiáng)。當(dāng)氧氣被制成等離子體時(shí)，它會(huì)與碳和氫發(fā)生極好的反應(yīng)，因此，如果將碳?xì)浠衔锞酆衔铮ɡ缢芰希┓湃胙鯕獾入x子體中，它會(huì)瞬間消失。
純碳?xì)浠衔飪H由碳和氫組成，因此與氧氣反應(yīng)后會(huì)釋放出水和二氧化碳，不會(huì)留下任何殘留物。半導(dǎo)體制造中使用的光刻膠由碳?xì)渚酆衔镏瞥桑渲泻刑砑觿?、溶劑、光敏劑等，因此在灰化這些光刻膠時(shí)，需要根據(jù)光刻膠的特性選擇最佳的等離子體條件。
在臭氧灰化過(guò)程中，氧分子并非通過(guò)等離子體激活，而是從氧分子中產(chǎn)生高活性的臭氧，并將其引入反應(yīng)室。此時(shí)，通過(guò)紫外線照射，臭氧會(huì)生成活性更高的氧原子（氧自由基），這些氧原子隨后會(huì)與光刻膠發(fā)生反應(yīng)。
氧等離子體與氧自由基的區(qū)別在于：氧等離子體中一定比例的氧原子是正離子，而氧自由基是電中性的，因此氧等離子體的反應(yīng)性更強(qiáng)。